應用案例 | 看見“不可見”——MV-SUC800GU紫外工業(yè)相機在晶圓缺陷檢測中的應用
2025-08-27
晶圓在生產制備、光刻、蝕刻等復雜工藝過程中，極易受到各種因素影響而產生缺陷。環(huán)境中的微小顆粒污染、工藝設備的細微偏差，或是材料本身的不均勻性等，在芯片制造與后續(xù)使用中，也可能引發(fā)信號傳輸異常、電路短路或斷路等嚴重問題，導致芯片失效。
接觸式檢測易對晶圓造成損傷，傳統(tǒng)可見光檢測（波長范圍約 400nm~700nm）又受限于波長特性，逐漸也難以滿足“零缺陷”檢測需求。
在此背景下，紫外光（作為半導體光刻與缺陷檢測的核心波段）憑借更短的波長優(yōu)勢，其能分辨的細節(jié)尺寸遠小于可見光，可高效捕捉晶圓表面的微小顆粒、劃痕等隱性或超小缺陷，成為晶圓表面缺陷檢測的理想選擇。
邁德威視自主研發(fā)的MV-SUC800GU，支持紫外光（UV）波長拍攝，低CPU占用，高速傳輸：
晶圓表面的透明薄膜層（如二氧化硅、氮化硅等材料），可見光會直接穿透，相對“透明”，導致其缺陷難以顯現(xiàn)，而該相機支持紫外波段成像，這些材料因特性在紫外光下被“看見”，呈現(xiàn)可見光相機無法察覺的缺陷。加上800萬像素（2840×2840分辨率），提供高分辨率成像，解決傳統(tǒng)可見光成像看不見的問題。
在現(xiàn)代生產線節(jié)拍中，全局快門為“邊移動邊檢測”提供了基礎，不會因晶圓移動導致 “邊緣畸變”；幀率高達44.75fps，避免“圖像跳幀”“漏拍區(qū)域”等問題，提升產能。
采用DMA傳輸，5Gbps 的數(shù)據(jù)傳輸部分，幾乎不占用CPU資源。將原始數(shù)據(jù)快速傳輸至處理單元，避免因數(shù)據(jù)擁堵造成的缺檢漏檢；同時一臺電腦多個相機可穩(wěn)定工作，長時間下不掉線、不丟幀，可滿足“7×24”小時連續(xù)生產的需求。
相機自帶的可編程IO和外觸發(fā)閃光燈同步拍照功能，適配自動化檢測場景，提升缺陷檢測一致性；兼容Vision協(xié)議，無縫兼容Halcon，VisionPro、Labview等視覺軟件，縮短項目開發(fā)周期。
MV-SUC800GU工業(yè)相機采用UV CMOS傳感器，兼具高分辨率與幀率、全局快門、低延遲傳輸、強兼容性等特性，精準匹配晶圓檢測對“微小缺陷識別、高速高效檢測、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠”的核心需求。
在紫外光源照射下，晶圓表面的微觀缺陷會因對紫外光的反射、吸收程度不同，形成可見的明暗對比差異。
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MV-SUC800GU |
| 傳感器 |
2/3″ UV CMOS |
| 相機類型 |
黑白 |
| 像元尺寸 |
2.74umx2.74um |
| 有效像素 |
800萬 |
| 分辨率@幀率 |
2840×2840 最大 @44.75fps |
| 曝光方式 |
幀曝光 |
| 數(shù)據(jù)接口 |
USB3.0 |
| 輸出像素寬度 |
8bit |
? ? ? ? 邁德威視科技有限公司是一家專業(yè)國產工業(yè)相機制造商。
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