接觸式檢測易對晶圓造成損傷,傳統(tǒng)可見光檢測(波長范圍約 400nm~700nm)又受限于波長特性,逐漸也難以滿足“零缺陷”檢測需求。
在此背景下,紫外光(作為半導體光刻與缺陷檢測的核心波段)憑借更短的波長優(yōu)勢,其能分辨的細節(jié)尺寸遠小于可見光,可高效捕捉晶圓表面的微小顆粒、劃痕等隱性或超小缺陷,成為晶圓表面缺陷檢測的理想選擇。
晶圓表面的透明薄膜層(如二氧化硅、氮化硅等材料),可見光會直接穿透,相對“透明”,導致其缺陷難以顯現(xiàn),而該相機支持紫外波段成像,這些材料因特性在紫外光下被“看見”,呈現(xiàn)可見光相機無法察覺的缺陷。加上800萬像素(2840×2840分辨率),提供高分辨率成像,解決傳統(tǒng)可見光成像看不見的問題。
MV-SUC800GU | |
傳感器 | 2/3″ UV CMOS |
相機類型 | 黑白 |
像元尺寸 | 2.74umx2.74um |
有效像素 | 800萬 |
分辨率@幀率 | 2840×2840 最大 @44.75fps |
曝光方式 | 幀曝光 |
數(shù)據(jù)接口 | USB3.0 |
輸出像素寬度 | 8bit |
光伏 |
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材料表面檢測 |
![]() 半導體 |
▲上電異物檢測
? ? ? ? ?拍攝屏幕全白畫面,配合專業(yè)光照系統(tǒng),精確檢測屏幕印子缺陷。
產(chǎn)品參數(shù)
MV-PX6500GC | MV-PX6500GM | |
光學尺寸 | 29.9mm x 22.4mm | |
傳感器類型 | CMOS | |
相機類型 | 彩色 | 黑白 |
像元尺寸 | 3.2um x 3.2um | |
有效像素 | 6500萬 | |
分辨率@幀率 | 9344*7000 MAX@70.25FPS | |
曝光方式 | 全局曝光 | |
曝光時間范圍(ms) | 0.0020-67108.8640ms | |
動態(tài)范圍 | 66.0dB |
![]() PCB檢測 |
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![]() 屏幕檢測 |
![]() |
![]() |
·搭配1600萬像素傳感器,畫面細節(jié)豐富,可清晰捕捉微米級細節(jié)。 ·支持多種分辨率和幀率,兼顧清晰畫質(zhì)和動態(tài)捕捉能力,滿足靜態(tài)細節(jié)拍攝與高速場景記錄需求,可根據(jù)不同的工業(yè)檢測場景及應用靈活切換。 |
采用高度緊湊的一體化設(shè)計,機身厚度僅為18mm,集成自帶鏡頭,不僅省去外接鏡頭選型與光路調(diào)校步驟,還能在保證成像質(zhì)量的同時大幅縮減設(shè)備空間,特別適合空間受限的工業(yè)場景。 | ![]() |
![]() |
·能與多種設(shè)備以及主流平臺(Windows、Linux、Android、Mac系統(tǒng)等)無縫對接,提高便捷性。
·標配USB2.0接口,搭配專用對插設(shè)備線。即插即用,部署更加方便,顯著提升系統(tǒng)集成效率。 |
支持全方位定制,用戶可以根據(jù)檢測重點和環(huán)境條件靈活調(diào)整硬件配置和軟件功能,確保相機在復雜場景下的運行依然穩(wěn)定高效,用最優(yōu)成本獲得專業(yè)級視覺方案。
MV-UC1601C | |
光學尺寸 | 1/2.8″ |
像元尺寸 | 1.12umx1.12um |
傳感器類型 | CMOS |
相機類型 | 彩色 |
有效像素 | 1600萬 |
曝光方式 | 滾動快門 |
對焦方式 | 手動對焦 |
分辯率及幀率 | 4656×3496@9fps |
數(shù)據(jù)接口 | USB2.0 |
![]() 激光打標 |
包裝印刷 |
![]() 科研 |
![]() 工業(yè)檢測 |
兼容性強:支持GigEVision、GenICam標準及和千兆網(wǎng)相機相同的SDK,能減少檢測系統(tǒng)開發(fā)中的適配成本。
其兼具高清晰度、低噪聲、性能出色等特點,為工業(yè)檢測提供了高效、可靠的解決方案。
通過多光源協(xié)同照明系統(tǒng)對手機中框進行高精度成像檢測:采用圓頂光消除表面反光,線同軸光增強邊緣對比度,配合單條傾斜光凸顯細微缺陷,確保獲取完整清晰的中框圖像。采集圖像后,再通過圖像處理算法進行分析,精確定位孔位坐標并識別關(guān)鍵尺寸參數(shù)。
MV-XGC6500GC |
MV-XGC6500GM |
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傳感器類型 |
CMOS |
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相機類型 |
彩色 |
黑白 |
像元尺寸 |
3.2um x 3.2um |
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有效像素 |
6500萬 |
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分辨率@幀率 |
9344×7000 @15.75fps |
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曝光方式 |
全局快門 |
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曝光時間范圍(ms) |
0.009~18874.359 |
![]() PCB檢測 |
![]() 鋰電 |
![]() 屏幕檢測 |
![]() |
? ? ? 隨著電子設(shè)備向高性能、微型化方向發(fā)展,印刷電路板(PCB)制造工藝正面臨新的技術(shù)要求。當前主流PCB產(chǎn)品的線寬和間距已進入微米量級,同時多層板設(shè)計日趨復雜,同一面板上往往并存著微米級元件與大型連接器。這種技術(shù)演進在提升電路性能的同時,對檢測手段提出了更嚴苛的要求。
智能對焦系統(tǒng)
相機內(nèi)部結(jié)構(gòu)實時調(diào)節(jié)方式,外接任意定焦鏡頭均可實現(xiàn)自動對焦,解決工業(yè)場景中鏡頭切換的兼容性問題,降低硬件成本
超高精度檢測
配備2000萬有效像素和2.4μm像元尺寸,保證微米級檢測精度
工業(yè)級可靠架構(gòu)
USB接口即插即用,并支持二次開發(fā)
? ? ? 將檢測精度、兼容性提升至新維度,為PCB檢測等精密視覺應用提供高性價比工業(yè)檢測方案。
MV-AFU2000C |
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傳感器 |
1″CMOS |
相機類型 |
彩色 |
像元尺寸 |
2.4umx2.4um |
有效像素 |
2000萬 |
曝光方式 |
行曝光,全局開始 |
分辨率@幀率 |
5488×3672最大@19.5fps |
數(shù)據(jù)接口 |
USB3.0 |
![]() 生物醫(yī)療 |
![]() 工業(yè)檢測 |
隨著短波紅外(SWIR)成像技術(shù)的突破性發(fā)展,工業(yè)檢測領(lǐng)域擴展了新的可視化維度。
傳統(tǒng)可見光相機使用的硅基傳感器的感光范圍上限通常在1100nm。短波紅外(SWIR)的波長范圍往往為900~1700nm,肉眼無法直接觀測。短波紅外相機憑借獨特的成像特性,可穿透塑料、硅片等可見光無法穿透的材料,使這些物品在觀察時呈現(xiàn)“透明”的效果,讓精準分檢成為可能。
難點與挑戰(zhàn)
然而,表面顏色相似的不同材質(zhì)(如PET與PP)在肉眼上根本無法區(qū)分,使得回收過程變得復雜,傳統(tǒng)工業(yè)相機無法穿透塑料材質(zhì),X射線檢測又存在成本高、輻射安全等問題。如何滿足現(xiàn)代化生產(chǎn)的質(zhì)量要求,在保證檢測精度的同時控制成本,成為企業(yè)面臨的重要抉擇。
邁德威視自主研發(fā)的短波紅外線陣工業(yè)相機MV-GEL10I,使用InGaAs 芯片,支持900-1700nm波段,將可見光和SWIR相應波段融合在一臺相機上,實現(xiàn)了一機雙用,是一款經(jīng)濟型、高性能、低成本的產(chǎn)品。
應用案例
![]() ▲可見光 |
![]() ▲短波紅外光 |
? ? ? 不同塑料在短波紅外波段具有獨特的分子振動吸收特征。基于這一特性,檢測系統(tǒng)通過光譜測量實現(xiàn)識別。先由 InGaAs 傳感器采集光譜數(shù)據(jù),再結(jié)合機器學習算法進行實時分析,通過識別物體表面反射的紅外光差異,完成對塑料的精準檢測。
MV-GEL10I |
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傳感器 |
InGaAs |
靶面尺寸 |
12.8×0.0125mm |
像元尺寸 |
12.5umx12.5um |
有效像素 |
1024×1 |
最高行頻 |
18K |
曝光方式 |
幀曝光 |
![]() 金屬表面檢測 |
![]() 包裝印刷 |
![]() 光伏面板檢測 |
![]() PCB印刷檢測 |
支持一臺電腦多個相機同時工作,數(shù)量不限制,可任意組網(wǎng),長時間工作不丟幀。
百米超長傳輸距離突破空間限制,具有更強的抗干擾性,降低布線成本。
支持外觸發(fā)及閃光燈同步,多達7路GPIO,全部光電隔離,適應強電磁環(huán)境。
性能再升級MV-GEC2100C對比MV-GEC2000C
MV-GEC2100C | MV-GEC2000C | |
光學尺寸 | 4/3”CMOS | 1”CMOS |
像元尺寸 | 3.3μm*3.3μm | 2.4μm*2.4μm |
![]() |
![]() |
MV-GEC2100C拍攝效果 | MV-GEC2000C拍攝效果 |
MV-GEC2100C在傳感器面積和像元尺寸上的升級,帶來總進光量的高度提升,使得色彩通道信號更純凈,單像素色彩采樣更完整。
![]() |
![]() |
MV-GEC2100C拍攝效果 | MV-GEC2000C拍攝效果 |
MV-GEC2100C | MV-GEC2000C | |
曝光時間 | 0.044-23278.3ms | 0.054-11796ms |
MV-GEC2100C相機曝光時間范圍的擴展,優(yōu)化了高速拍攝和弱光成像兩大性能。更短的曝光時間有效減少了運動模糊;更長的曝光時間則大幅提升了在低照度環(huán)境下的成像質(zhì)量,使相機在智能制造、自動化檢測、科研實驗等工業(yè)場景中具備更強的適應性。
型號 | MV-GEC2100C |
光學尺寸 | 4/3”CMOS |
像元尺寸 | 3.3μm*3.3μm |
相機類型 | 彩色 |
分辨率@幀率 | 5280*3956 MAX@5.75FPS |
有效像素 | 2100萬 |
最大增益(倍數(shù)) | 20 |
數(shù)據(jù)接口 | 千兆網(wǎng)口 |
曝光方式 | 卷簾快門 |
靈敏度 | 1880LSB |
![]() 屏幕檢測 |
![]() 智能交通 |
![]() 鋰電檢測 |
![]() PCB檢測 |
? ? ? MV-H2FL84M/U采用雙16G光纖接口,雙路并發(fā)工作模式下,總帶寬可達32Gbps,等效3臺萬兆網(wǎng)(10Gbps)工業(yè)相機的傳輸能力,實現(xiàn)“一抵三”的效能跨越,較市場目前20G方案,帶寬性能提升60%。解決了單鏈路傳輸極易遭遇的帶寬瓶頸,提供了天然的鏈路冗余保障,確保關(guān)鍵應用的高可靠性。
? ? ? 8K高分辨率為半導體晶圓缺陷檢測、PCBA面板微米級焊點虛焊檢測和精密元件的復雜幾何結(jié)構(gòu),都能提供最豐富、最可靠的圖像數(shù)據(jù)源。
? ? ? 256級TDI技術(shù)為微弱光照或高速運動條件下(如高速在線檢測、微觀缺陷捕捉),也能輸出高對比度、低噪聲的清晰圖像,大幅提升檢測的準確性與可靠性。
? ? ? 440KHz超高行頻在面對超高速運動目標(如高速流水線),也能有效抑制運動模糊,確保圖像無拖影、無畸變,精準捕捉關(guān)鍵細節(jié)。
國內(nèi)首發(fā)8K 256級TDI雙光口光纖傳輸相機, 行頻可達440KHz,相較于邁德威視萬兆網(wǎng)線陣工業(yè)相機-256級TDI系列,在同等像素下,行頻提升了300%,大幅度提高了在動態(tài)掃描和快速物體捕捉方面的性能。
搭配邁德威視自主研發(fā)的雙光纖采集卡,實現(xiàn)光口與采集系統(tǒng)的高效協(xié)同,降低CPU的使用率,同時保證相機的抗干擾性和穩(wěn)定性,實現(xiàn)相機與采集卡的無縫對接,消除第三方設(shè)備兼容風險,還能優(yōu)化數(shù)據(jù)緩存機制,提升系統(tǒng)響應速度。
以接近一臺邁德威視萬兆網(wǎng)相機的價格,實現(xiàn)3倍帶寬提升,性能比肩CXP,實現(xiàn)高帶寬、零妥協(xié)、低成本的三重突破。
![]() 屏幕檢測 |
![]() 半導體檢測 |
![]() 鋰電檢測 |
![]() PCB檢測 |
·核心升級:?邁德威視千兆網(wǎng)工業(yè)相機MV-GES240GC/GM內(nèi)置高性能PTP從時鐘模塊,能夠無縫接入支持PTP的工業(yè)網(wǎng)絡。
·精準保障:?與其他PTP設(shè)備(如主時鐘、PLC、機器人控制器、其他相機)實現(xiàn)高精度時間同步,有效解決引言中的各類時間同步難題。
·無縫集成:?兼容標準的IEEE 1588v2協(xié)議,可與市場上主流支持PTP的工業(yè)交換機、控制器等設(shè)備協(xié)同工作。
·易于使用:?通過相機配套的SDK和配置工具,可以方便地啟用、配置和監(jiān)控PTP狀態(tài)。
邁德威視千兆網(wǎng)系列——MV-GES240GC/GM
邁德威視堅信,通過不斷的技術(shù)革新與優(yōu)化,能夠為客戶帶來更加高效、可靠的視覺解決方案,共同推動智能制造邁向更高水平。
未來,邁德威視將繼續(xù)秉承“創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展、品質(zhì)贏得未來”的理念,深耕工業(yè)視覺領(lǐng)域,攜手合作伙伴共創(chuàng)更加輝煌的明天。期待與您一同見證更多技術(shù)突破,共筑智能制造的新篇章!
UV紫外線是電磁波譜中介于可見光與X射線之間的不可見光線,波長范圍為10-400納米(nm)。根據(jù)波長差異分為三個波段:
? ? ? ?· UVC(100-280nm):波長最短,能量最高,但幾乎被地球臭氧層完全吸收,無法到達地表。
? ? ? ?· UVB(280-320nm):部分被大氣阻擋,成像難度較高。
? ? ? ?· UVA(320-400nm):占地表紫外輻射的95%,是紫外成像的主要波段。
人眼視網(wǎng)膜僅能感知波長約380-750nm的可見光,而紫外線波長更短(<380nm),因此無法被直接觀測。需借助特殊設(shè)備(如紫外相機、熒光材料)將其轉(zhuǎn)化為可見信號。
工業(yè)常用紫外波長為 365nm 與 395nm。紫外相機廣泛應用于高分辨率視頻顯微鏡、電暈檢測、半導體及無損檢測等領(lǐng)域,可捕捉可見光下難以察覺的結(jié)構(gòu)瑕疵、熒光標記及物質(zhì)變化特征信號。
邁德威視全新推出的紫外線陣工業(yè)相機MV-PXL90U,專為寬光譜檢測場景設(shè)計,覆蓋200-1100nm范圍,并針對250-380nm紫外波段進行增強優(yōu)化。其核心性能包括:
? ? ? ? · 9K超清分辨率:精準捕捉微觀缺陷與熒光信號;
? ? ? ? · 256+32TDI技術(shù):提升弱光環(huán)境下的信噪比與成像效率;
? ? ? ? · 529kHz超高行頻:滿足高速動態(tài)檢測需求;
? ? ? ? · 水冷散熱設(shè)計:確保設(shè)備在高溫、高負荷工況下的穩(wěn)定運行。
能夠適應半導體制造、材料表面檢測、生物熒光分析等領(lǐng)域,為高精度紫外成像提供可靠解決方案。
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紫外圖像傳感器可高效檢測電子設(shè)備中樹脂涂層的均勻性。無色透明樹脂在紫外成像下因吸光特性顯黑色,未涂區(qū)域因金屬基底反光呈白色,通過黑白對比度差異,可快速定位涂層過薄、漏涂或溢流缺陷,確保制造工藝精準可控。
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工業(yè)檢測 |
![]() 生物醫(yī)療 |
玻璃臟污檢測 |